IT之家讯，6 月 29 日，安徽凌光红外科技有限公司正式推出了 LUXET VERITAS 微光显微镜与激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜，此举填补了国内市场的相关空白。
IT 之家了解到，LUXET VERITAS 二合一显微镜将 EMMI 微光检测技术和 OBIRCH 激光诱导电阻变化技术有机结合，实现了设备的一机两用和高度集成，能够满足半导体全链条检测的各类需求。
据了解，当前全球半导体产业正加速迈入先进制程时代，芯片的内部构造变得越来越精密和复杂，电性失效分析由此成为芯片研发、迭代、良率提升以及品质保障的关键步骤。
在核心硬件和性能参数方面，该设备配置了深度制冷近红外相机，并配备了自研的 1.35 倍大口径物镜。EMMI 模块能够精确定位纳安级的微弱漏电，并且有效识别 PN 结击穿、闩锁效应、栅极氧化层漏电和多晶硅缺陷等典型失效问题；OBIRCH 模块则使用了 1300nm 的标准激光波段和 500mW 的额定功率，能够实现 pA 级的超高精度电流放大测量，有利于精确排查金属线路、导通孔和接触孔的阻值异常等不易察觉的缺陷。
